日前國產(chǎn)芯片廠商格科微宣布成功實(shí)現(xiàn)整套ASML光刻機(jī)中的關(guān)鍵設(shè)備——先進(jìn)ArF光刻機(jī)的搬入。

據(jù)格科微表示，目前，格科微潔凈室已按計(jì)劃分階段順利驗(yàn)收，相關(guān)廠務(wù)系統(tǒng)配備進(jìn)展順利，共有六十一臺(tái)設(shè)備已經(jīng)搬入。未來，外延、蝕刻、薄膜、清洗等相關(guān)設(shè)備仍會(huì)陸續(xù)搬入。

格科微表示，ArF光刻機(jī)的成功引入，是格科微“12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”建設(shè)的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)。

依托自有工廠即格科半導(dǎo)體的先進(jìn)制程，格科微將進(jìn)一步加快先進(jìn)CIS工藝和高階專利像素的研發(fā)速度，并在自有工廠實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)驗(yàn)證，從而極大縮短高端產(chǎn)品從研發(fā)到大量供應(yīng)市場的周期。

據(jù)了解，該項(xiàng)目總投資約155億元，建設(shè)一座12英寸、月產(chǎn)6萬片的芯片廠，建造12英寸晶圓CMOS圖像傳感芯片特殊工藝制造生產(chǎn)線，預(yù)計(jì)年底達(dá)到量產(chǎn)狀態(tài)。

今年2月，格科微披露2021年度業(yè)績快報(bào)。報(bào)告期內(nèi)，公司實(shí)現(xiàn)營收70億元，同比增長8.44%;實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤12.59億元，同比增長62.78%;扣非凈利潤12.03億元，同比增長57.09%。

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